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愛德華真空泵
nXDS10i 愛德華干式渦旋泵
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產品名稱:
nXDS10i 愛德華干式渦旋泵
產品型號:
nXDS10i
產品展商:
Edwards
產品文檔:
無相關文檔
簡單介紹
nXDS10i 是下一代無油的干式渦旋泵,并取代 XDS10。nXDS 提高了傳統(tǒng)泵的性能,抽速更高,極限壓力更低,功耗更低,噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽,包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了新的端部密封,延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優(yōu)化的泵送性能,nXDS 泵可進行現(xiàn)場維修。
nXDS10i 愛德華干式渦旋泵
的詳細介紹
概述
nXDS10i 是下一代無油的干式渦旋泵,并取代 XDS10。nXDS 提高了傳統(tǒng)泵的性能,抽速更高,極限壓力更低,功耗更低,噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽,包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了新的端部密封,延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優(yōu)化的泵送性能,nXDS 泵可進行現(xiàn)場維修。
用途
一般清潔泵送應用
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線和高能物理
前級渦輪泵
速離心機
覆層
低溫學
脫氣/硫化 - 油,環(huán)氧樹脂
蒸餾/萃取/過濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實驗室工作臺上真空
激光、氣體回收和再循環(huán)
氦檢漏儀
負載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環(huán)
稀有氣體回收
冷凍制造
旋轉離心蒸發(fā)器
SEM/FIB(離子束維修)
溶劑回收
表面科學儀器
nXDS10i 100 - 127 V,200 - 240 V,1 相,50/60 Hz
A73601983
特性與優(yōu)勢
真空外殼中不需要使用潤滑劑,密封可徹底的清潔和干燥真空,防止交叉污染
無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運行,使用時間更長
簡單的單側滾軸布置電機和軸承設計相結合,只需低程度的工具,就能實現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務,因此可降低運行成本,盡可能延長正常運行時間
改進了電機和傳動效率,可降低功耗和運行成本
的接口提供了傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法,可通過 USB、RS232 或 RS485 實現(xiàn)遠程控制/監(jiān)視
數(shù)據(jù)
標稱旋轉速度
1800 rpm
排量
12.7 m
3
h
-1
/ 7.5 ft
3
min
-1
峰值抽速
11.4 m
3
h
-1
/ 6.7 ft
3
min
-1
極限真空(總壓力)
0.007 mbar / 0.005 Torr
待機旋轉速度
1200 rpm
速度控制精度(以全速百分比表示)
1%
轉速時的抽速
7.5
大連續(xù)進氣口壓力
200 mbar
電機功率(一相)
280 W
電源連接器(1 相)
IEC EN60320 C13
保險絲
10A,250Vac rms
重量
25.8 kg / 57 lb
入口法蘭
NW25
排氣口法蘭
NW25
噪音級別
52 dB(A)
入口法蘭處抗振性
< 4.5 mms
-1
(rms)
密封性(靜態(tài))
< 1x10
-6
mbar ls
-1
工作溫度范圍
10 至 40 °C / 41 至 104 °F
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