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產(chǎn)品名稱: nXDS6i 愛德華干式渦旋泵
產(chǎn)品型號(hào): nXDS6i
產(chǎn)品展商: Edwards
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
nXDS6i 是下一代無油的干式渦旋泵，并取代 XDS5。與傳統(tǒng) XDS 泵相比，nXDS 性能更強(qiáng)，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了新的端部密封，延長了端部密封更換的時(shí)間間隔。具有自動(dòng)電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動(dòng)提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 泵可進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)維修。
nXDS6i 愛德華干式渦旋泵
的詳細(xì)介紹
概述
nXDS6i 是下一代無油的干式渦旋泵，并取代 XDS5。與傳統(tǒng) XDS 泵相比，nXDS 性能更強(qiáng)，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了新的端部密封，延長了端部密封更換的時(shí)間間隔。具有自動(dòng)電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動(dòng)提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 泵可進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)維修。
用途
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一般清潔泵送應(yīng)用
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電子掃描顯微鏡 - SEM
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射束線和高能物理
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前級(jí)渦輪泵
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速離心機(jī)
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覆層
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低溫學(xué)
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脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂
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蒸餾/萃取/過濾
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冷凍干燥
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熔爐
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凝膠體干燥
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實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空
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激光、氣體回收和再循環(huán)
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氦檢漏儀
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負(fù)載鎖和傳輸腔
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稀有氣體再循環(huán)
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稀有氣體回收
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冷凍制造
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旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
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SEM/FIB（離子束維修）
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溶劑回收
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表面科學(xué)儀器
特性與優(yōu)勢(shì)
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真空外殼中不需要使用潤滑劑，密封可徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染
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無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長
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簡單的單側(cè)滾軸布置電機(jī)和軸承設(shè)計(jì)相結(jié)合，只需低程度的工具，就能實(shí)現(xiàn)輕松的現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)，因此可降低運(yùn)行成本，盡可能延長正常運(yùn)行時(shí)間
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改進(jìn)了電機(jī)和傳動(dòng)效率，可降低功耗和運(yùn)行成本
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的接口提供了傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視
數(shù)據(jù)
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額定轉(zhuǎn)速
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1800 rpm
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排量
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6.2 m3h-1 / 3.6 ft3min-1
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峰值抽速
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6.2 m3h-1 / 3.6 ft3min-1
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極限真空（總壓力）
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0.020 mbar / 0.015 Torr
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待機(jī)旋轉(zhuǎn)速度
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1200 rpm
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速度控制精度（以全速百分比表示）
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1%
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轉(zhuǎn)速時(shí)的抽速
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4.1
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大連續(xù)入口壓力
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200 mbar
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電機(jī)功率（一相）
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260 W
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電源連接器 1 相
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IEC EN60320 C13
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的保險(xiǎn)絲
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10A，250Vac rms
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重量
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26.2 kg / 58 lb
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入口法蘭
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NW25
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排氣口法蘭
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NW25
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噪聲級(jí)別
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52 dB(A)
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入口法蘭處的震動(dòng)
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< 4.5 mms-1 (rms)
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密封性（靜態(tài)）
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< 1x10-6 mbar ls-1
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操作溫度范圍
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10 至 40 °C / 41 至 104 °F
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